微流量傳感器 - F1031
新一代MEMS傳感器芯片技術(shù)
無漂移,無滯后
精度高,響應(yīng)速度快,重復(fù)性好
低功耗(使用脈沖激發(fā)電流)
可準(zhǔn)確測量極小流量
經(jīng)過完全校準(zhǔn)和溫度補償
線性或開方特性輸出;模擬或數(shù)字輸出
產(chǎn)品介紹
一、微流量傳感器F1031描述
F1031 微流量傳感器是利用熱力學(xué)原理對流道中的氣體介質(zhì)進行流量檢測,具有很好的精度與重復(fù)性。F1031微流量傳感器內(nèi)置有溫度傳感器,每只都進行專有的溫度補償校準(zhǔn);同時具有線性模擬電壓輸出,方便使用。
芯片由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成:熱偶堆對稱地分布在加熱電阻的上、下游;加熱電阻和熱偶堆的熱結(jié)處于一個隔熱底座上。加熱電阻對熱偶堆的熱結(jié)加熱。熱偶堆熱結(jié)和冷結(jié)之間的溫度梯度導(dǎo)致輸出電壓,即本征塞貝克效應(yīng)。加熱電阻兩側(cè)的等溫線,當(dāng)流體靜止時,等溫線沿垂直加熱電阻中部的直線對稱分布,加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度是相同的。當(dāng)流體從左向右流動時,等溫線向右側(cè)傾斜。加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度不再相同。溫差可由置于加熱電阻兩側(cè)的熱偶堆測定。由于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關(guān),因此傳感器可直接測出流體質(zhì)量流量。
二、微流量傳感器F1031傳感器特點
新一代MEMS傳感器芯片技術(shù)
無漂移,無滯后
精度高,響應(yīng)速度快,重復(fù)性好
低功耗(使用脈沖激發(fā)電流)
可準(zhǔn)確測量極小流量
經(jīng)過完全校準(zhǔn)和溫度補償
線性或開方特性輸出;模擬或數(shù)字輸出
三、微流量傳感器F1031主要應(yīng)用
醫(yī)用設(shè)備:呼吸儀、肺活量儀、麻醉控制儀、氧氣控制等
暖通空調(diào):變風(fēng)量系統(tǒng) (VAV)、過濾器監(jiān)控、風(fēng)扇通風(fēng)控制等
工業(yè)過程控制:燃燒器控制
空氣和環(huán)境保護
便攜式儀器
四、微流量傳感器F1031技術(shù)指標(biāo)
產(chǎn)品型號 | F1031微流量傳感器 | |||
量程① | 20、35、50、100、150、200SLM② | |||
最小 | 典型值 | 最大 | 單位 | |
滿量程輸出 | 4.90 | 5.00 | 5.10 | V |
零流量輸出 | 0.96 | 1.00 | 1.04 | V |
輸出阻抗 | - | 200 | - | Ω |
工作電壓 | 7.0 | 10.0 | 14.0 | V |
工作電流 | 15 | 25 | 30 | mA |
精度 | - | ±1.5 | ±2.5 | %F.S |
重復(fù)性 | - | ±0.3 | ±0.5 | %F.S |
年漂移③ | - | ±0.1 | ±0.5 | %F.S |
工作壓力④ | - | - | 100 | kPa |
反應(yīng)時間 | 5 | 10 | 15 | ms |
工作溫度⑤ | -25 | - | 65 | ℃ |
儲存溫度 | -40 | - | 90 |
℃ |
注:產(chǎn)品參數(shù)如有變動,恕不另行通知
ISweek 工采網(wǎng)的所有產(chǎn)品均來自于原始生產(chǎn)廠商直接供貨,非第三方轉(zhuǎn)售。
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