美國(guó)Siargo FS8000系列微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器 - FS8001/FS8003

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流量范圍：0~500sccm
精度：± (2+0.5FS)%
重復(fù)性：?± 1.0
輸出方式：線性，模擬電壓0.5~4.5VD C（可選IC 數(shù)字信號(hào)輸出）
響應(yīng)時(shí)間：10ms
工作溫度：0 ~ +55℃、
工作濕度：<95% RH （無結(jié)冰、無凝露）

產(chǎn)品型號(hào)：: FS8001/FS8003

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產(chǎn)品介紹

一、FS8000系列微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
FS8000系列微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類工業(yè)過程控制而設(shè)計(jì)的。產(chǎn)品有兩種測(cè)量范圍，螺紋接口易于安裝，可用于固晶機(jī)等多種工業(yè)設(shè)備。

二、FS8000系列微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器產(chǎn)品特點(diǎn):
傳感器靈敏度高，有極小的始動(dòng)流量
響應(yīng)速度快
低壓損
安裝方便

三、FS8000系列微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器技術(shù)參數(shù)：

項(xiàng)目	FS8001	FS8003	單位
流量范圍	(0~500) sccm	(0~6) SLPM
精度	±(2. 0+0. 5FS)		%
重復(fù)性	±1. 0		%
零點(diǎn)輸出漂移	±30		mV
輸出漂移	±0. 12		% / ℃
響應(yīng)時(shí)間	10		ms
工作電源	8~24		VDC
輸出方式	線性，模擬電壓0.5~4.5VD C（可選IC 數(shù)字信號(hào)輸出）
Max工作壓力	0.3		MPa
工作溫度	0 ~ +55		℃
儲(chǔ)存溫度	-20 ~ +65		℃
工作濕度	<95% RH （無結(jié)冰、無凝露）
電氣接口	SM 05B-SRSS-TB (JST)
機(jī)械接口	M5螺孔	Rc1/ 8(入口)/M 5螺孔(出口)
標(biāo)準(zhǔn)方式	空氣（20℃，101.325kPa）